Institut Silizium-Photovoltaik
Electron Backscatter Diffraction (EBSD)
- dient der Feststellung der Orientierung der Elementarzelle in den Kristallen
- die rückgestreuten Elektronen werden an den Netzebenen der Kristalle gestreut
- aus den Beugungsbildern lässt sich die Kristallorientierung berechnen
- Einsatz eines OIM XM4-Systems der Firma EDAX-TSL mit maximaler Rastergeschwindigkeit von 75 fps
- Mikrostrukturuntersuchungen, Texturbestimmungen, Phasenanalysen
- die Proben müssen sehr eben und glatt sein
- die Informationstiefe beträgt nur wenige nm