Institut Silizium-Photovoltaik
Energiedispersive Röntgenanalyse (EDX)
- gibt Auskunft über die chemische Zusammensetzung der Probe
- Atome werden durch Elektronenstrahl angeregt, es entsteht charakteristische Röntgenstrahlung
- Analyse dieser Strahlung mit einem Silizium Driftkammer Detektor (SDD) der Firma EDAX
- qualitative und quantitative Analyse der Elemente ab Bor mit einer Auflösung MnKα=125 eV und sehr hohen Zählraten
- Bestimmung von Elementverteilungen durch spektrale Mappings und Linescanns
- die Proben müssen homogen und glatt sein
- Informationstiefe kann mehrere µm betragen
Cu-Verteilung in einer CuInS2-Schicht.
Die hellen Bereiche sind Flächen erhöhter Cu- Konzentration.
