1 PANalytical MPD for thin film analysis (LMC)
PANalytical MPD for thin film analysis
PANalytical X'Pert Pro MPD (multi-purpose diffractometer) hauptsächlich für Dünnschichtanalyse mittels streifenden Einfall (z.B. Phasenanalyse, Mikrostruktur). Umrüstbar auf Bragg-Brentano-Geometrie mit rotierendem Probenhalter für Pulverdiffraktometrie.
» Streifender Einfall (GIXRD, 2Theta scan) mit Parallelstrahl
- tiefenaufgelöste Dünnschichtanalytik
» Bragg-Brentano-Geometrie (BB, Theta-2Theta scan) mit parafokussierendem Strahl
- qualitative Stressanalyse von Dünnschichten
- Pulverdiffraktometrie
» Röntgenreflektometrie (XRR)
- Bestimmung von Schichtdicken, Oberflächenrauigkeit und Dichte
» Ausstattung
- Röntgenspiegel für Parallelstrahl sowie zur Unterdrückung der Cu-K-beta- und Bremsstrahlung
- fester Divergenzspalt für fokussierenden Strahl
- Hybrid-Monochromator für monochromatischen (Cu-K-alpha1) Paralellstrahl
- Infrarot-(IR)-Probenbühne für große Proben und zusätzliche Aufbauten
- drehbare Probenbühne für Pulverproben
- programmierbare XYZ-Probenbühne für laterale Scans und automatischen Probenwechsel
- PIXcel Liniendetektor
- Xe Punktdetektor mit parallelem Plattenkollimator