Rasterelektronenmikroskopie

Insgesamt stehen der Elektronenmikroskopiegruppe vier Rasterelektronenmikroskope zur Verfügung, welche mit verschiedenen Analysemöglichkeiten wie Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX), Electron Backscatter Diffraction (EBSD), Electron Beam-Induced Current (EBIC), Kathodolumineszenz (CL) sowie Rasterkraftmikroskop (AFM) ausgestattet sind.

Zeiss Merlin (LMC)

• Bis 0,8 nm Auflösung bei 15kV
  1,4nm bei 1kV
• 20V-30kV Beschleunigungsspannung
• InLens (SE) Detektor für Sekundärelektronenerfassung auf der optischen Achse
• InLens (EsB) für energieselektive Rückstreuelektronenerfassung für stärkere Materialkontraste
• SE2
• Rasterkraftmikroskopie: Erweitert die Möglichkeiten des REM bis zur Auflösung von Atomschichten und der Untersuchung von Oberflächenmagnetismus oder lokaler Leitfähigkeit
• Transfersystem für luftempfindliche Proben
• Geplant 2022/2023: EDX System

Zeiss Merlin (WCRC)

• Bis 0,8 nm Auflösung bei 15kV
  1,4nm bei 1kV
• 20V-30kV Beschleunigungsspannung
• InLens (SE) Detektor für Sekundärelektronenerfassung auf der optischen Achse
• InLens (EsB) für energieselektive Rückstreuelektronenerfassung für stärkere Materialkontraste
• SE2
• EDX System Ultim Extreme by Oxford

Zeiss UltraPlus (LMC)

• SE und BSE Detectoren
• Charge-compensation und Polishing System
• EBSD/EDX System AZtec von Oxford Instruments
• EBIC System (point electronic)
• CL System (EMSystems)

LEO Gemini 1530 (LMC)

• SE detectors
• EDX system by Thermo Fisher