Institut Silizium-Photovoltaik

Drittmittelprojekt: OptiRefs

Neues Vorhaben zur Entwicklung optischen Materialien bewilligt

Ein gemeinsames Projekt der SENTECH Instruments GmbH, der Technischen Universität Berlin, des Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH und der PTB wurde von der Investitionsbank Berlin im Rahmen der ProFIT-Programmförderung neu bewilligt. In dem Vorhaben „OptiRefS“ (Optische Referenzdaten für technologische Schichtsysteme) sollen in den nächsten 3 Jahren neuartige Referenzmaterialien für die Ellipsometrie an Dünnschichtmaterialien im Wellenlängenbereich unterhalb 200 nm entwickelt werden, z.B. speziell gestufte Siliziumoberflächen und 2D-Graphenschichten. Mit dem Vakuum-Ultraviolett (VUV-) Ellipsometer an der Metrology Light Source sollen dafür optische Konstanten mit verlässlichen Unsicherheiten bestimmt werden. Wegen der extremen Oberflächenempfindlichkeit der Messungen im VUV-Wellenlängenbereich begrenzen Oberflächeneffekte wie molekulare Kontamination die Genauigkeit der Messungen, so dass bisher kaum validierte Daten verfügbar sind. Durch ergänzende Messverfahren und numerische Modellierungen (“hybride Metrologie“) sollen in diesem Projekt im experimentell schwer zugänglichen VUV-Spektralbereich diese Schwierigkeiten überwunden und die Störeffekte quantitativ erfasst und korrigiert werden, um zuverlässige optische Materialparameter bereitzustellen. 

VUV Ellipsometer an der MLS bei Bessy II, © Prof. Esser / TU B, ISAS