Physikalische Dünnschicht-Methoden, Synthese und Prozessierung wie:

- Magnetronsputtern (MS),
- Elektronenstrahlverdampfen (EBE),
- Ionenstrahlsputtern (IBS),
- Glancing-Angle-Deposition (GLAD),
- Pulsed-Laser-Deposition (PLD),
- Rapid-Thermal-Processing (RTP)

Hochvakuum-Prozess-Equipment, Entwicklung und Diagnostiken