Tuominen, M.; Mäkelä, J.; Yasir, M.; Dahl, J.; Granroth, S.; Lehtiö, J.-P.; Félix, R.; Laukkanen, P.; Kuzmin, M.; Laitinen, M.; Punkkinen, M.P.J.; Hedman, H.-P.; Punkkinen, R.; Polojärvi, V.; Lyytikäinen, J.; Tukiainen, A.; Guina, M.; Kokko, K.: Oxidation-Induced Changes in the ALD-Al2O3/InAs(100) Interface and Control of the Changes for Device Processing. ACS Applied Materials & Interfaces 10 (2018), p. 44932-44940
10.1021/acsami.8b17843
Open Access Version (externer Anbieter)