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  Amkreutz, D.; Muske, M.: Elektronenstrahlverdampfen von Silizium: Eine vielfältige Depositionsmethode für Anwendungen in der Photovoltaik, für Displays oder MEMS. Vakuum in Forschung und Praxis 31 (2019), p. 20-24

10.1002/vipr.201900710