Scherg-Kurmes, Harald: Deposition von transparenten leitfähigen Oxiden mit hoher Ladungsträgermobilität bei niedriger Prozesstemperatur und deren Integration in Photovoltaik-Zellen : numerische Simulation der physikalischen und chemischen Vorgänge während der Deposition. , Berlin, Technische Universität, Diss., 2017
https://depositonce.tu-berlin.de/handle/11303/6107
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