Schleunitz, A.; Senn, T.; Löchel, B.; Datta, P.; Göttert, J.; Giselbrecht, S.; Reinhardt, M.: Nanoprägen in Polymerfolien als Fertigungsverfahren für fluidische Mikro-Nano-Systeme = Nanoembossing in Polymer Foils as a Fabrication Technique for fluidic Micro-Nano-Systems. In: Proceedings / MikroSystemTechnik-Kongress 2009 : 12. - 14. Oktober 2009, BerlinBerlin: VDE-Verl., 2009 (1 CD-ROM). - ISBN 978-3-8007-3183-1, p. Paper P11.1/1-4
Abstract:
Um die Funktionalität der Mikrosystemtechnik durch die Integration von Submikrometer und Nanometerstrukturen in sogenannte Mikro-Nano-Systeme erweitern zu können, müssen industriekompatible Produktionstechnologien entwickelt werden, die eine Strukturierung im Mikro- und Nanometerbereich für ein breites Nutzerspektrum ermöglichen und für eine Fertigung von mikro- und nanostrukturierten Komponenten auch im industriellen Einsatz in Frage kommen. Die Intention der vorliegenden Arbeit ist es, für diese technologische Aufgabenstellung einen möglichen Lösungsansatz durch Untersuchungen zum Nanoprägen als ein für die Nanostrukturierung von Kunststoffen adaptiertes Heissprägeverfahren weiterzuentwickeln und den enormen Nutzen des Verfahrens für die Fertigung fluidischer Mikro-Nano-Systeme durch Applikationsbeispiele aus dem Bereich der Life-Sciences zu veranschaulichen.