Oberflächenanalytik

Abb. 1: AFM-Topografieaufnahme einer strukturierten Zinkoxid-Schicht (S. Neubert).

Abb. 2: AFM-3D-Darstellung der Topografie einer periodisch strukturierten Silizium-Schicht (S. Neubert).

Abb. 3:  3D-Darstellung der Topografie eines Kontaktfingers auf einem texturierten Si Wafer (Laser scanning Mikroskop)  (H. Rhein).