Technologische Verfahren

Die Herstellung von Dünnschicht-Solarzellen und Heterostruktur-Solarzellen erfordert Abscheideverfahren für die Absorber, Emitter und Kontaktschichten, sowie eine strukturierende Prozeßtechnik. Bei der Herstellung kristalliner Siliziumfilme werden zusätzlich Verfahrensschritte mit einer Kristallisierung amorpher Filme auf Glas erforscht.