Rasterelektronenmikroskopie

Insgesamt stehen der Elektronenmikroskopiegruppe vier Rasterelektronenmikroskope zur Verfügung, welche mit verschiedenen Analysemöglichkeiten wie Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX), Electron Backscatter Diffraction (EBSD), Electron Beam-Induced Current (EBIC), Kathodolumineszenz (CL) sowie Rasterkraftmikroskop (AFM) ausgestattet sind.

Zeiss Merlin

  • Bis 0,8 nm Auflösung bei 15kV
    1,4nm bei 1kV
  • 20V-30kV Beschleunigungsspannung
  • InLens (SE) Detektor für Sekundärelektronenerfassung auf der optischen Achse
  • InLens (EsB) für energieselektive Rückstreuelektronenerfassung für stärkere Materialkontraste
  • SE2
  • Rasterkraftmikroskopie: Erweitert die Möglichkeiten des REM bis zur Auflösung von Atomschichten und der Untersuchung von Oberflächenmagnetismus oder lokaler Leitfähigkeit

Zeiss UltraPlus

  • SE und BSE Detectoren
  • Charge-compensation und Polishing System
  • EBSD/EDX System AZtec von Oxford Instruments
  • EBIC System (point electronic)
  • CL System (EMSystems)

LEO Gemini 1530

  • SE detectors
  • EDX system by Thermo Fisher