Publikationen

Publikationen




Zeitschrift
Buch, Buchbeitrag
Bericht
Hochschulschrift
Konferenzbeitrag

nur Open Access


2018
2017
2016
2015
2014
2013
2010

Patents

  • German Patent DE 10 2011 111 629.B4, Verfahren zur Herstellung periodischer kristalliner Silizium-Nanostrukturen, filed: 25.08.2011, issued: 28.02.2013, Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie, Inventors: C. Becker, T. Sontheimer, E. Rudigier-Voigt, M. Bockmeyer, B. Rech.
  • International Patent WO/2013/027123, Method for producing periodic crystalline silicon nanostructures, filed: 22.08.2012
  • European Patent EP 2 748 653 B1, Verfahren zur Herstellung periodischer kristalliner Silizium-Heterostrukturen, filed: 22.08.2012, issued: 13.01.2016
  • German Patent 10 2013 109 163.9, Verfahren zur Herstellung polykristalliner, 3D-Strukturen aufweisender Siliziumschichten homogener Dicke, filed: 23.08.2013, Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie, Inventors: D. Amkreutz, V. Preidel, B. Rech, T. Sontheimer, C. Becker
  • German Patent 10 2014 105 319.2, Verfahren zur Herstellung strukturierter Schichten mit einer photonischen Bandstruktur und Anordnung mit einer solchen Schicht, filed: 14.04.2014, Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie, Inventors: J. Xavier, J. Probst, P. Wyss, C. Becker
  • German Patent DE 10 2016 107 877.8, Lichtdurchlässiger Träger für einen halbleitenden Dünnschichtaufbau sowie Verfahren zur Herstellung und Anwendung des lichtdurchlässigen Trägers, filed: 28.04.2016, Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie, Inventors: D. Eisenhauer, G. Köppel, C. Becker, B. Rech