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German Patent DE102011111629B4, Verfahren zur Herstellung periodischer kristalliner Silizium-Nanostrukturen, filed: 25.08.2011, issued: 28.02.2013, Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie, Inventors: C. Becker, T. Sontheimer, E. Rudigier-Voigt, M. Bockmeyer, B. Rech.
International Patent WO/2013/027123, Method for producing periodic crystalline silicon nanostructures, filed: 22.08.2012

German Patent 10 2013 109 163.9, Verfahren zur Herstellung polykristalliner, 3D-Strukturen aufweisender Siliziumschichten homogener Dicke, filed: 23.08.2013, Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie, Inventors: D. Amkreutz, V. Preidel, B. Rech, T. Sontheimer, C. Becker

German Patent 10 2014 105 319.2, Verfahren zur Herstellung strukturierter Schichten mit einer photonischen Bandstruktur und Anordnung mit einer solchen Schicht, filed: 14.04.2014, Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie, Inventors: J. Xavier, J. Probst, P. Wyss, C. Becker